本發(fā)明公開了一種掃描化學(xué)反應(yīng)顯微成像的方法及應(yīng)用，屬于材料測試儀器技術(shù)領(lǐng)域。利用可以精確掃描和定位的中空納米探針進(jìn)行樣品表面化學(xué)反應(yīng)物種的微區(qū)采樣，結(jié)合采樣物種的精準(zhǔn)轉(zhuǎn)移和高靈敏質(zhì)譜探測分析，實(shí)現(xiàn)固體表面化學(xué)反應(yīng)性能的顯微成像研究。該系統(tǒng)包括中空納米探針精確定位和掃描功能、中空納米探針的微區(qū)采樣功能、微區(qū)采樣的精準(zhǔn)轉(zhuǎn)移功能、高效和高選擇性采樣物種的電離功能、高靈敏和高分辨離子分析和探測功能、樣品表面環(huán)境和反應(yīng)氣氛控制功能。這是一種對表面化學(xué)反應(yīng)物種包括原子、分子、自由基等在表面X、Y、Z三個維度上的分布進(jìn)行空間分辨探測的方法，實(shí)現(xiàn)具備幾百到幾十納米分辨的表面或界面化學(xué)反應(yīng)性能的顯微成像功能。