一種納米二氧化硅熔鹽中電沉積硅膜基體電化學(xué)評估方法，按以下步驟進(jìn)行：（1）將氯化鈣置于反應(yīng)器中；插入石墨電極；（2）將氯化鈣加熱形成熔鹽，通過電極進(jìn)行預(yù)電解，兩電極的電壓1.0±0.1V；（3）制作工作電極；（4）制成復(fù)合電極；（5）制成三電極體系；（6）將固態(tài)熔鹽覆蓋多晶硅片，加熱熔化形成熔鹽；（7）測量嵌入電位，通過塔菲爾曲線獲得自腐蝕電位VCorr(X-Si)；（8）向熔鹽中加入納米二氧化硅形成混合熔鹽；（9）通過兩個石墨電極對混合熔鹽進(jìn)行二次預(yù)電解；（10）通過三電極體系測量還原電位VR(SiO2)；（11）計算σ和δ。采用本發(fā)明的方法可通過簡單的試驗(yàn)，分析何種材料可直接作為納米二氧化硅在氯化鈣熔鹽中電化學(xué)還原電沉積硅膜的陰極基體。