研磨頭(40)具備保持晶圓(W)晶圓保持部件(44)、設(shè)置于晶圓保持部件(44)的晶圓(W)側(cè)的支承墊(46)、設(shè)置于晶圓保持部件(44)和支承墊(46)之間來(lái)測(cè)定支承墊(46)的溫度的溫度測(cè)定機(jī)構(gòu)(47)。
聲明:
“研磨頭、化學(xué)機(jī)械研磨裝置及化學(xué)機(jī)械研磨方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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