本發(fā)明提供了一種可提高檢測精準(zhǔn)度的拋光終點檢測方法,用于檢測氧化物的化學(xué)機(jī)械拋光工藝的拋光終點?,F(xiàn)有技術(shù)在進(jìn)行氧化物的拋光終點檢測時并未對所檢測到波峰的扭矩進(jìn)行檢測而判定其為拋光終點,易在拋光速度過慢時出現(xiàn)拋光終點的誤檢測現(xiàn)象。本發(fā)明不僅在進(jìn)行一預(yù)設(shè)時段的拋光后再進(jìn)行拋光終點檢測,還判斷所檢測到波峰對應(yīng)的扭矩是否在正常終止扭矩范圍,且在是時才判定所檢測到波峰為拋光終點。采用本發(fā)明可避免在拋光速度過慢時出現(xiàn)的拋光終點誤檢測事件發(fā)生,如此可大大提高拋光終點檢測的精準(zhǔn)度和可靠性,進(jìn)而大大提高氧化物化學(xué)機(jī)械拋光工藝的拋光質(zhì)量。
聲明:
“可提高檢測精準(zhǔn)度的拋光終點檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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