公開了用于半導(dǎo)體層的
電化學(xué)氧化的方法。在用于作為電子器件之一的電子源10(場致發(fā)射類型電子源)的生產(chǎn)過程中的電化學(xué)氧化處理過程中,基于來自電阻檢測部分35的檢測電壓,控制部分37預(yù)先測定由于電解溶液B的電阻導(dǎo)致的電壓增量。然后,控制部分37控制電源以供應(yīng)恒電流,以便引發(fā)對于在物體30上形成的半導(dǎo)體層的氧化處理??刂撇糠?7通過從中減去電壓增量來校正來自電壓檢測部分36的檢測電壓。當(dāng)校正電壓達(dá)到給定的上限電壓值時(shí),可以操作控制部分37來中斷電源32的輸出和終止氧化處理。本發(fā)明使得可以生產(chǎn)在其特性方面具有減小的變化的電子器件。
聲明:
“電化學(xué)氧化” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)