本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備。該化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備包括殼體、設(shè)置有研磨墊的拋光盤、研磨頭和檢測(cè)裝置，其中，殼體具有容納腔，拋光盤、研磨頭和檢測(cè)裝置均位于所述容納腔內(nèi)，檢測(cè)裝置用于檢測(cè)預(yù)定表面是否發(fā)生形變，預(yù)定表面為研磨墊遠(yuǎn)離拋光盤的表面。該化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備中加入了檢測(cè)裝置，檢測(cè)裝置根據(jù)檢測(cè)到的研磨墊的預(yù)定表面，確定預(yù)定表面是否發(fā)生形變，相比現(xiàn)有技術(shù)中使用肉眼觀察研磨墊的預(yù)定表面是否發(fā)生形變，不能對(duì)研磨墊的表面狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控的方案來說，本申請(qǐng)的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的檢測(cè)裝置可以對(duì)研磨墊的表面進(jìn)行監(jiān)控，從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中缺乏可以監(jiān)控研磨墊表面狀態(tài)的方案的問題。