一種半導(dǎo)體濕法化學(xué)液供給裝置,包括第一儲液桶、第二儲液桶、進(jìn)液管、第一電磁閥、電機(jī)、調(diào)速裝置、轉(zhuǎn)動桿、攪拌葉、抽液管、泵體、導(dǎo)液管、警報器、出液管、第二電磁閥、終端控制器和液位檢測器,所述第一儲液桶頂端左側(cè)設(shè)置有進(jìn)液管,進(jìn)液管上設(shè)置有第一電磁閥,第一儲液桶頂端右側(cè)設(shè)置有抽液管,第一儲液桶左側(cè)設(shè)置有電機(jī),第二儲液桶內(nèi)部的液位檢測器可以對桶內(nèi)的化學(xué)液進(jìn)行檢測,當(dāng)化學(xué)液液體過少時,液位檢測器可以將數(shù)值通過電性連接傳輸至終端控制器上,通過終端控制器可以控制泵體將第一儲液桶內(nèi)的化學(xué)液導(dǎo)入第二儲液桶內(nèi)部,以確保第二儲液桶內(nèi)的化學(xué)液保持在夠用的狀態(tài),避免出現(xiàn)補(bǔ)給化學(xué)液時會影響正常生產(chǎn)的進(jìn)展。
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“半導(dǎo)體濕法化學(xué)液供給裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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