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化學(xué)氣相沉積裝置

937   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:57:21
本發(fā)明提供一種化學(xué)氣相沉積裝置,所述化學(xué)氣相沉積裝置包括擴(kuò)散器,用于擴(kuò)散待沉積氣體,以形成薄膜;載臺,用于放置待沉積基板,所述載臺與所述擴(kuò)散器相對設(shè)置;在所述擴(kuò)散器和所述載臺之間設(shè)置有至少一組光距離檢測組件,所述光距離檢測組件用于測量所述擴(kuò)散器和所述載臺之間的間距。本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積裝置,通過在擴(kuò)散器和載臺之間設(shè)置光距離檢測組件,該光距離檢測組件用于檢測擴(kuò)散器和所述載臺之間的間距,由于檢測過程不需要進(jìn)行降溫處理,因此提高了生產(chǎn)效率。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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