一種化學(xué)放大型正性抗蝕劑組合物,包括酚醛清漆樹脂、在堿性水溶液中本身不可溶或可溶性差但是在堿性水溶液中通過(guò)酸的作用而變得可溶的樹脂,和酸生成劑,其中當(dāng)酚醛清漆樹脂通過(guò)凝膠滲透色譜(GPC)利用254nm UV檢測(cè)器、以聚苯乙烯作標(biāo)準(zhǔn)物進(jìn)行測(cè)試時(shí),基于除了未反應(yīng)單體之外的總圖案面積計(jì),分子量為1000或更小的組分的面積比為25%或更小。該化學(xué)放大型正性抗蝕劑組合物在不惡化基本性能例如靈敏度、分辨率等的情況下能夠降低費(fèi)用,并且由于駐波引起的不均勻性小,能夠改善圖案輪廓、特別是線邊緣粗糙度。
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