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用于制備石墨烯薄膜的化學氣相沉積裝置及方法

894 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:57:45

本發(fā)明提供了一種用于制備石墨烯薄膜的化學氣相沉積裝置及方法，該裝置包括反應單元、碳源進給單元和真空檢控單元；其中，所述反應單元用于進行化學氣相沉積反應，所述碳源進給單元用于為所述反應單元提供氣態(tài)碳源，所述真空檢控單元用于控制和檢測所述反應單元的真空度；所述碳源進給單元包括霧化器和汽化器。本發(fā)明一實施方式的用于制備石墨烯薄膜的化學氣相沉積裝置，通過設計結構簡單的碳源進給器，替代傳統(tǒng)的注射泵法、鼓泡法和加熱法，使得碳源的控制更加精確穩(wěn)定，且降低了生產(chǎn)成本。

聲明：

“用于制備石墨烯薄膜的化學氣相沉積裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)