本發(fā)明涉及一種化學氣相沉積機臺,包括標準機械界面、前端部分、機械手臂、緩存處、緩沖區(qū)和沉積腔體,其中所述標準機械界面是晶片進入機臺的開始位置,所述前端部分一端連接標準機械界面另一端連接緩存處,所述前端部分設(shè)有風機
過濾機組,所述風機過濾機組包括風扇,所述風扇過濾前端部分的空氣,所述緩沖區(qū)連接所述緩存處,所述沉積腔體與緩沖區(qū)相連接,所述機械手臂用于傳輸標準機械界面、緩存處和沉積腔體之間的晶片,所述風機過濾機組還包括一個用于檢測風扇工作狀態(tài)的檢測裝置。本發(fā)明在前端部分中的風機過濾機組上增加一個用于檢測風扇工作狀態(tài)的檢測裝置,避免因風扇不工作后造成的晶片污染,降低低效產(chǎn)品。
聲明:
“化學氣相沉積機臺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)