本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械研磨液自動配制控制系統(tǒng),包括控制單元、執(zhí)行單元、測量單元、罐體單元和管線單元;其中,管線單元包括,研磨液管線和雙氧水管線,研磨液管線和雙氧水管線上均安裝有測量單元和執(zhí)行單元;罐體單元包括配制罐和設(shè)置在配制罐內(nèi)的攪拌裝置,配制罐用于存放由研磨液原液和雙氧水原液配制得到的研磨液;測量單元為折光儀,控制單元用于實(shí)時接收所述折光儀檢測的數(shù)據(jù),并結(jié)合預(yù)設(shè)的研磨液濃度閾值生成執(zhí)行命令傳輸給執(zhí)行單元。其效果是:能夠?qū)崟r檢測各管線和罐體中的液體濃度值,并根據(jù)測量的實(shí)時數(shù)據(jù)對配制罐中的研磨液濃度進(jìn)行自動控制,不需要增加額外的維護(hù)量和維護(hù)費(fèi)用,并且提高了檢測的準(zhǔn)確度。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械研磨液自動配制控制系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)