本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械研磨模擬方法，包括建立化學(xué)機(jī)械研磨模型，并格式化為與化學(xué)機(jī)械研磨結(jié)果對(duì)應(yīng)的線寬對(duì)數(shù)?密度矩陣表格，對(duì)版圖進(jìn)行窗格劃分，將每個(gè)窗格版圖的等效線寬、密度轉(zhuǎn)換為模型表格中的線寬對(duì)數(shù)?密度坐標(biāo)，根據(jù)每個(gè)窗格在模型表格中的坐標(biāo)位置和與其相鄰的表格交點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的化學(xué)機(jī)械研磨結(jié)果，計(jì)算出每個(gè)窗格初步的化學(xué)機(jī)械研磨模擬結(jié)果，并考慮版圖上周圍窗格對(duì)當(dāng)前窗格的影響，根據(jù)相關(guān)的權(quán)重因子，計(jì)算出每個(gè)窗格最終的化學(xué)機(jī)械研磨模擬結(jié)果并輸出；可在保證產(chǎn)品模擬預(yù)測結(jié)果準(zhǔn)確性的基礎(chǔ)上，大幅提升對(duì)化學(xué)機(jī)械研磨工藝的模擬速度，及時(shí)檢查出化學(xué)機(jī)械研磨工藝設(shè)計(jì)熱點(diǎn)，縮短產(chǎn)品生產(chǎn)周期。