本實用新型公開了一種用于化學(xué)機械拋光的修整裝置及系統(tǒng),所述修整裝置包括固定座、擺臂和修整器,所述修整器設(shè)置于擺臂的端部并繞固定座擺動;所述修整器包括修整頭和檢測組件,所述修整頭用于修整拋光墊,所述檢測組件與修整頭在水平方向相鄰設(shè)置以檢測拋光墊的形貌。
聲明:
“用于化學(xué)機械拋光的修整裝置及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)