本實(shí)用新型公開了一種便于檢測(cè)的派瑞林鍍膜工藝的檢測(cè)加工裝置，屬于化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，包括：蒸發(fā)室、裂解室、真空沉積室、真空系統(tǒng)、冷卻控制器以及管道，真空沉積室上部設(shè)置有升華杯，升華杯設(shè)置有料倉(cāng)杯、加熱環(huán)和升華室，加熱環(huán)上設(shè)有溫度傳感器，料倉(cāng)杯的下端設(shè)有密封環(huán)，密封環(huán)的一側(cè)設(shè)有加熱片，加熱片的底部設(shè)有下加熱傳感器，升華室上連接有連接環(huán)，連接環(huán)上連接有兩個(gè)前加熱環(huán)，兩個(gè)前加熱環(huán)上分別設(shè)有上加熱傳感器和中加熱傳感器，在其中一個(gè)前加熱環(huán)的一端設(shè)有上連接環(huán)。本實(shí)用新型通過將熒光增白劑粉料升華均勻沉積在加工件上，通過用紫外線燈照射來檢測(cè)，可以對(duì)加工產(chǎn)品的效果有了直觀的觀察。