本發(fā)明公開了一種提高化學(xué)機(jī)械拋光研磨液使用率的系統(tǒng),包括化學(xué)機(jī)械拋光裝置,研磨液供給裝置,接受從研磨墊上流出的研磨液的管路,研磨液再循環(huán)管路,從研磨液再循環(huán)管路一端流出的研磨液與研磨液供給裝置中流出的研磨液原液匯合通過研磨液供給裝置傳送到研磨墊的表面。本發(fā)明還公開了一種提高化學(xué)機(jī)械拋光研磨液使用率的方法,包括以下步驟:1.實(shí)時(shí)檢測從研磨墊上流出的研磨液參數(shù);2.確定研磨墊上流出的研磨液參數(shù)符合工藝要求;3.使循環(huán)使用液的研磨液與研磨液原液的混合研磨液達(dá)到工藝要求并將混合研磨液輸送到研磨墊的表面。本發(fā)明提高了研磨液的使用率。