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用于化學(xué)成像的原子力顯微鏡的紅外光譜方法及裝置

693   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:59:01
提供了用于獲得具有低至幾納米的空間分辨率的極高靈敏度的化學(xué)成分圖的方法及裝置。在一些實(shí)施例中,能夠通過組合三種技術(shù)生成該化學(xué)成分圖:(1)使用紅外輻射照射樣本,而不是調(diào)諧到樣本的吸收帶;(2)優(yōu)化調(diào)諧到特定靶材的機(jī)械耦合效率;(3)優(yōu)化調(diào)諧到特定靶材的諧振檢測(cè)。通過組合這些步驟可以獲得(1)基于獨(dú)特紅外吸收的化學(xué)成分圖;(2)通過極短距離的針尖?樣本相互作用增強(qiáng)的空間分辨率;(3)調(diào)諧至特定靶材的諧振放大。在其他實(shí)施例中,可以利用這些步驟中的任兩個(gè),仍然能夠?qū)崿F(xiàn)空間分辨率和/或靈敏度的實(shí)質(zhì)改進(jìn)。
聲明:
“用于化學(xué)成像的原子力顯微鏡的紅外光譜方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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