本實(shí)用新型公開了一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置,包括有氫氣發(fā)生器電控裝置、氫氣報警器探頭和氫氣報警控制器,所述氫氣報警控制器與氫氣發(fā)生器電控裝置并聯(lián)連接;本實(shí)用新型設(shè)計合理,結(jié)構(gòu)簡單,氫氣報警控制器會給出一個開關(guān)信號切斷氫氣發(fā)生器電控裝置的主電路,從而切斷氣體再生,確保安全性,這樣能將發(fā)生意外的可能性降低到零,CVD系統(tǒng)可以檢測切斷保護(hù)試驗中意外出現(xiàn)的危險,各個檢測精度部件可以根據(jù)實(shí)驗需求自由組合,這種組合方式適合各種CVD系統(tǒng)。
聲明:
“安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)