亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 化學(xué)氣相沉積設(shè)備

化學(xué)氣相沉積設(shè)備

976   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:44
本實用新型涉及一種CVD設(shè)備。所述CVD設(shè)備包括腔體、設(shè)置在所述腔體內(nèi)的頂板和襯底支撐座,所述頂板與所述襯底支撐座相對設(shè)置,所述襯底支撐座具有面向所述頂板的襯底支撐面,待處理襯底設(shè)置于所述襯底支撐面,所述頂板具有面向所述襯底支撐座的第一表面和背離所述襯底支撐座的第二表面;所述化學(xué)氣相沉積設(shè)備進一步包括至少一探測孔和至少一溫度探測器;所述探測孔從所述腔體的外側(cè)向所述腔體內(nèi)延伸,并從所述頂板第二表面一側(cè)延伸至所述頂板,但不穿透所述頂板;所述溫度探測器通過所述探測孔探測所述頂板的溫度,以獲得所述頂板第一表面的溫度。本實用新型的CVD設(shè)備能夠有效檢測所述頂板面向所述襯底支撐座的第一表面的溫度。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記