本發(fā)明涉及一種
電化學加工系統(tǒng),包括底座、電解槽以及朝向電解槽的加工電極;所述底座上設有驅動所述電解槽X向運動的X向運動平臺和Y向運動的Y向運動平臺,以及驅動所述加工電極Z向運動的Z向運動平臺,所述Z向運動平臺上連接有驅動所述加工電極三自由度微動的微動平臺,所述微動平臺包括與所述Z向運動平臺連接的X向微動平臺、與所述X向微動平臺連接的Y向微動平臺,以及與所述Y向微動平臺連接的Z向微動平臺;所述電解槽上還連接有檢測所述加工電極對所述電解槽施加壓力的力傳感器;所述加工電極上還連接有檢測其對工件加工深度的位移傳感器。
聲明:
“電化學加工系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)