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研磨頭組件和化學(xué)機械研磨設(shè)備

1092   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:45
該實用新型涉及一種研磨頭組件和化學(xué)機械研磨設(shè)備。所述研磨頭組件包括:研磨頭,包括具有一開口的腔體和卡盤板,卡盤板設(shè)置于所述腔體開口處,用于固定晶圓;壓力控制單元,設(shè)置于腔體內(nèi),包括:壓力腔和密封件,所述密封件第一端連接所述卡盤板表面,第二端隔離所述壓力腔與所述腔體,當(dāng)所述卡盤板固定有晶圓時,所述壓力腔內(nèi)的壓力保持恒定,當(dāng)晶圓從研磨頭中滑出后,卡盤板連同所述密封件位置發(fā)生移動,使得壓力腔內(nèi)壓力發(fā)生變化;壓力管道,用于連通所述壓力腔與壓力供應(yīng)端;壓力傳感器,用于連接所述壓力管道,用于檢測所述壓力腔內(nèi)的壓強。上述研磨頭組件,能夠?qū)A滑出所述研磨頭的情況進行檢測,提高對晶圓進行研磨加工時的產(chǎn)率。
聲明:
“研磨頭組件和化學(xué)機械研磨設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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