本發(fā)明涉及一種高通量濕法化學(xué)組合材料
芯片制備裝置以及制備方法,包括溫控箱,溫控箱內(nèi)設(shè)有支撐架,支撐架上設(shè)有廢液池,廢液池的豎直上方設(shè)有反應(yīng)池,反應(yīng)池的底部設(shè)有池底排液口,池底排液口處設(shè)有排液速度控制器,反應(yīng)池的豎直上方設(shè)有溶液池,溶液池的底部設(shè)有加液口,加液口處設(shè)有加液速度控制器,反應(yīng)池的豎直上方設(shè)有垂直提升器,垂直提升器通過(guò)提升線固定連接有夾具,還包括檢測(cè)裝置。本發(fā)明可用于包含
稀土元素等在大氣環(huán)境下不穩(wěn)定、其氧化物又不宜制成靶材的材料的高通量組合材料芯片的制備;反應(yīng)過(guò)程溫度較低,通過(guò)控制反應(yīng)溶液溫度進(jìn)一步降低基底溫度,防止制備過(guò)程中基底溫度過(guò)高生成中間化合物,阻止擴(kuò)散的進(jìn)一步進(jìn)行。
聲明:
“高通量濕法化學(xué)組合材料芯片制備裝置以及制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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