本實(shí)用新型是化學(xué)氣相沉積設(shè)備進(jìn)出水監(jiān)控裝置，其結(jié)構(gòu)是主進(jìn)水管和主出水管上端分別由底板下方穿過(guò)底板延伸至上方，主進(jìn)水管上端連通進(jìn)水支管的一端，主出水管上端連通出水支管的一端，靠近進(jìn)水支管另一端的進(jìn)水支管上設(shè)有球閥，靠近出水支管另一端的出水支管上設(shè)有SMC流量控制裝置。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：為每個(gè)工藝腔單獨(dú)的出水管分別配備SMC流量控制裝置，實(shí)現(xiàn)了對(duì)每個(gè)工藝腔內(nèi)冷卻水出水的壓力、溫度、流量等的精密實(shí)時(shí)可視化監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)更好的數(shù)據(jù)采集和分析，提高產(chǎn)品良率；為每個(gè)工藝腔單獨(dú)的進(jìn)水管分別配備球閥，實(shí)現(xiàn)了對(duì)每個(gè)工藝腔內(nèi)冷卻水進(jìn)水的單獨(dú)開(kāi)閉，方便單獨(dú)保養(yǎng)工藝腔或處理冷卻水問(wèn)題，節(jié)約了耗時(shí)和人力。