本發(fā)明揭示了一種在恒壓模式下
電化學(xué)拋光的方法,包括:預(yù)設(shè)一個(gè)具有電流分布的恒流配方,包括晶圓上具有不同半徑的多個(gè)位置以及為每個(gè)位置預(yù)設(shè)的電流;使用恒流配方拋光第一晶圓;在拋光過(guò)程中檢測(cè)并記錄每個(gè)位置的電壓;生成具有電壓分布的恒壓配方,包括多個(gè)位置以及對(duì)應(yīng)每個(gè)位置記錄的電壓;使用恒壓配方拋光第二晶圓。
聲明:
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