本發(fā)明公開了全自動化學(xué)液噴霧及DI水蒸汽組合清洗片盒裝置，用于清洗片盒本體，片盒本體的底部裝載固定有承載架，包括箱體，箱體內(nèi)設(shè)置有通過多個隔板分隔出來、且按照片盒本體的清洗移動方向設(shè)置的上料室、清洗室、沖洗室、烘干室；清洗室內(nèi)、沖洗室內(nèi)、烘干室內(nèi)分別設(shè)置有清洗管路、沖洗管路和烘干管路；清洗室和沖洗室之間、沖洗室和烘干室之間均設(shè)置有隔離門；箱體內(nèi)還安裝有化學(xué)液噴霧罐和水蒸汽發(fā)生器，化學(xué)液噴霧罐和水蒸汽發(fā)生器均連通到清洗管路上，沖洗管路連通有水泵，而烘干管路連通有熱風(fēng)機；本發(fā)明還公開了全自動化學(xué)液噴霧及DI水蒸汽組合清洗片盒的方法，包括以下步驟：S1系統(tǒng)自檢；S2片盒清洗；S3片盒沖洗；S4片盒烘干。