帶壓力傳感器的微型化學(xué)推進(jìn)器,屬于微推進(jìn)技術(shù)和MEMS技術(shù)領(lǐng)域。為解決現(xiàn)有MEMS化學(xué)推進(jìn)器無法反饋控制的問題,本發(fā)明公開了一種帶壓力傳感器的微型化學(xué)推進(jìn)器,它由上層硅片和下層硅片兩部分粘接而成,并且是一系列基本推進(jìn)單元的周期性陣列;每個(gè)基本推進(jìn)單元的上層部分集成了燃燒室、點(diǎn)火藥腔和噴管,噴管底部與燃燒室底部通過點(diǎn)火藥腔相連通;每個(gè)基本推進(jìn)單元的下層部分集成了壓力傳感器和點(diǎn)火器,其底部為內(nèi)凹的棱臺結(jié)構(gòu),頂部為壓力敏感薄膜,壓力傳感器嵌于壓力敏感薄膜中,點(diǎn)火器位于壓力敏感薄膜的頂面。本發(fā)明使燃燒室內(nèi)實(shí)時(shí)壓力測量成為可能,同時(shí)省去了燃燒室和噴管鍵合的工藝步驟,避免了由于鍵合引起的對準(zhǔn)誤差。
聲明:
“帶壓力傳感器的微型化學(xué)推進(jìn)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)