本發(fā)明提供了一種化學(xué)機(jī)械研磨工藝的模擬裝置的建立，包括：第一步驟：根據(jù)工藝平臺(tái)下的設(shè)計(jì)規(guī)則，設(shè)計(jì)線寬對(duì)數(shù)?密度矩陣表格，包括線寬對(duì)數(shù)/密度的取值范圍以及線寬對(duì)數(shù)/密度坐標(biāo)序列的步徑選取；第二步驟：根據(jù)線寬對(duì)數(shù)?密度矩陣表格中表格交點(diǎn)對(duì)應(yīng)的線寬和密度，設(shè)計(jì)一系列測(cè)試圖形；第三步驟：收集各測(cè)試圖形的化學(xué)機(jī)械研磨結(jié)果數(shù)據(jù)，直接賦值給對(duì)應(yīng)的各表格交點(diǎn)；第四步驟：基于線性插值的數(shù)學(xué)方法，對(duì)所述線寬對(duì)數(shù)?密度矩陣表格中剩余的空白表格交點(diǎn)進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨結(jié)果計(jì)算并賦值；第五步驟：優(yōu)化所述線寬對(duì)數(shù)?密度矩陣表格交點(diǎn)，保存得到最終模擬裝置。