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研磨液、化學(xué)機(jī)械研磨方法

887   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:01:13
本發(fā)明的課題是提供一種可賦予面內(nèi)均勻性優(yōu)異的被研磨體的研磨液。并且,提供一種使用上述研磨液的化學(xué)機(jī)械研磨方法。本發(fā)明的研磨液是使用于化學(xué)機(jī)械研磨中的研磨液,其含有研磨粒、有機(jī)酸及水溶性高分子,且同時滿足下述式(1)~式(3)。式(1):1.5≤η100rpm1000rpm≤20;式(2):1.2≤η100rpm500rpm≤10;式(3):η100rpm1000rpm>η100rpm500rpm,在式(1)~式(3)中,η100rpm是在40%RH、23℃下通過旋轉(zhuǎn)粘度計以轉(zhuǎn)速100rpm測定的上述研磨液的粘度,η500rpm是在40%RH、23℃下通過旋轉(zhuǎn)粘度計以轉(zhuǎn)速500rpm測定的上述研磨液的粘度,η1000rpm是在40%RH、23℃下通過旋轉(zhuǎn)粘度計以轉(zhuǎn)速1000rpm測定的上述研磨液的粘度。
聲明:
“研磨液、化學(xué)機(jī)械研磨方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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