本發(fā)明的課題是提供一種可賦予面內(nèi)均勻性優(yōu)異的被研磨體的研磨液。并且,提供一種使用上述研磨液的化學(xué)機(jī)械研磨方法。本發(fā)明的研磨液是使用于化學(xué)機(jī)械研磨中的研磨液,其含有研磨粒、有機(jī)酸及水溶性高分子,且同時滿足下述式(1)~式(3)。式(1):1.5≤η
100rpm/η
1000rpm≤20;式(2):1.2≤η
100rpm/η
500rpm≤10;式(3):η
100rpm/η
1000rpm>η
100rpm/η
500rpm,在式(1)~式(3)中,η
100rpm是在40%RH、23℃下通過旋轉(zhuǎn)粘度計以轉(zhuǎn)速100rpm測定的上述研磨液的粘度,η
500rpm是在40%RH、23℃下通過旋轉(zhuǎn)粘度計以轉(zhuǎn)速500rpm測定的上述研磨液的粘度,η
1000rpm是在40%RH、23℃下通過旋轉(zhuǎn)粘度計以轉(zhuǎn)速1000rpm測定的上述研磨液的粘度。
聲明:
“研磨液、化學(xué)機(jī)械研磨方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)