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掃描電化學顯微鏡探針及其制備方法

1066 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:01:15

本發(fā)明屬于電化學技術領域，具體為一種掃描電化學顯微鏡探針及其制備方法。本發(fā)明制備方法包括：以納米薄膜的形式制備探針的犧牲層；以納米薄膜的形式在犧牲層上制備探針的絕緣層，絕緣層厚度控制在5?50 nm；以納米薄膜的形式在絕緣層上制備金屬電極層，金屬電極層的厚度控制在5?50 nm；利用有機溶劑去除犧牲層釋放絕緣層和金屬層雙層薄膜；雙層薄膜的內應變梯度促使絕緣層和金屬電極層卷曲，形成由絕緣層包裹金屬電極層的微管結構。該結構可用作掃描電化學顯微鏡探針；通過材料和結構調節(jié)，實現(xiàn)更高的探測性能和顯微成像分辨率。

聲明：

“掃描電化學顯微鏡探針及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)