提出用于半導(dǎo)體加工中的超純流體如液體酸混合和/或稀釋的系統(tǒng)及方法。所述系統(tǒng)包括:第一和第二化學(xué)品分配器,用以盛裝待混合的第一流體和第二流體;第一和第二化學(xué)品分配器間的過程通路,由此使所述第一流體和第二流體流過并相混生成一種混合流體,由此還使混合流體流向用戶使用處;超聲波發(fā)射裝置(28),該裝置(28)所處位置足以發(fā)出穿透混合流體的超聲波,該裝置(28)包括測(cè)量通過所述混合流體波速的裝置并因此間接測(cè)出混合流體中第一流體和第二流體的混合量之比。
聲明:
“用于半導(dǎo)體加工的超高純化學(xué)品的現(xiàn)場(chǎng)混合系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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