本發(fā)明涉及一種加熱器表面的修復(fù)方法及化學(xué)氣相沉積設(shè)備。所述修復(fù)方法包括:監(jiān)測在加熱器表面形成的沉積體層;獲取所述沉積體層的厚度分布;當(dāng)所述厚度分布為不均勻分布時,則基于所述厚度分布,向所述加熱器表面噴射修復(fù)粉末,直至所述厚度分布為均勻分布。根據(jù)本發(fā)明的加熱器表面的修復(fù)方法,能夠提高化學(xué)氣相沉積設(shè)備中加熱器的使用壽命。
聲明:
“加熱器表面的修復(fù)方法及化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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