本發(fā)明屬于紅外探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,一種利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備硒化鉛薄膜的方法。該方法包括以下步驟:(1)采用熱蒸發(fā)法在襯底上生長(zhǎng)硒化鉛薄膜;(2)采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法處理硒化鉛薄膜。本發(fā)明微波等離子處理方法沒有導(dǎo)致硒元素流失,不改變?cè)牧系脑貥?gòu)成與材料性質(zhì),僅燒結(jié)現(xiàn)象提高其結(jié)晶程度,增強(qiáng)光電性能。
聲明:
“利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備硒化鉛薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)