本實(shí)用新型公開了一種用于化學(xué)氣相沉積的可控制備裝置，包括連接底座、固定渦殼、連接法蘭和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述連接底座頂部安裝有固定渦殼，且固定渦殼位于連接底座頂部一側(cè)，所述固定渦殼一側(cè)設(shè)有連接法蘭，所述連接底座頂部安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，且驅(qū)動(dòng)電機(jī)位于連接底座頂部另一側(cè)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)端上安裝有驅(qū)動(dòng)軸，且驅(qū)動(dòng)軸貫穿連接法蘭伸進(jìn)固定渦殼內(nèi)。本實(shí)用新型的有益效果是，方便對連接葉輪進(jìn)行安裝與拆卸，方便對連接葉輪檢修與更換，提高了工作效率，采用全包圍螺母，提高了驅(qū)動(dòng)軸的密封性，可以防止驅(qū)動(dòng)軸的位置處聚集污垢，防止出現(xiàn)不能拆卸的現(xiàn)象，提高了防水密封性能，提高了工作效率，防止造成水資源浪費(fèi)，通過注水口方便向固定渦殼內(nèi)注水。