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制備二維薄膜材料的化學氣相沉積裝置

807 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:02:30

本實用新型涉及一種制備二維薄膜材料的化學氣相沉積裝置。其包括：氣源；反應腔體，其設有進氣口和置物口，置物口設有開合門；主腔體，反應腔體位于主腔體內；主腔體內部設有加熱裝置，表面設有進氣孔，進氣孔通過氣管與進氣口連接；溫度測量裝置，包括溫度傳感器以及溫度顯示裝置；抽真空系統(tǒng)，抽真空系統(tǒng)與主腔體連接；真空測量裝置，連接于主腔體，其包括插入主腔體內的測量頭；還包括：等離子體增強裝置，其設置于氣源與主腔體之間，氣源通過管道與活性增強人口連接，活性增強出口通過法蘭與進氣孔連接。本實用新型通過設置等離子體增強裝置對反應氣體等離子化，增加反應氣體的活性，使得反應氣體反應的溫度降低，且反應周期短，節(jié)省成本。

聲明：

“制備二維薄膜材料的化學氣相沉積裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)