本實用新型公開了一種化學(xué)氣相沉積?高溫處理一體化爐,爐蓋上配合有爐體,爐體內(nèi)部安裝有加熱保溫系統(tǒng),加熱保溫系統(tǒng)遠離爐蓋的一端連接有出料盤;體的一側(cè)壁安裝有測溫裝置;該測溫裝置穿過爐體、加熱保溫系統(tǒng)進入爐體中心;爐體的另一側(cè)壁安裝有電極;出料盤的底部連接有進氣系統(tǒng),該進氣系統(tǒng)用以給爐體內(nèi)部充入氣體并與工作件發(fā)生反應(yīng)。對完成沉積過程的材料進行需要高溫處理時,由于爐體內(nèi)部設(shè)置有加熱及保溫系統(tǒng),通過電極對加熱及保溫系統(tǒng)的中頻感應(yīng)線圈進行加熱,將爐體內(nèi)部溫度升高到1800℃以上進行高溫處理,完成材料制備的全過程。將沉積爐與高溫爐整合到一臺設(shè)備節(jié)約了工作程序,降低設(shè)備運行成本、人力成本、時間成本等。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積-高溫處理一體化高溫爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)