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晶圓雙面化學機械研磨拋光用冷卻裝置及方法

902 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:03:20

本發(fā)明公開了晶圓雙面化學機械研磨拋光用冷卻裝置及方法，包括設于研磨拋光機構上的冷卻機構、調(diào)節(jié)系統(tǒng)和顯示控制系統(tǒng)，冷卻機構包括冷卻盤體，冷卻盤體的內(nèi)部通過冷卻通道形成冷卻腔，冷卻通道包括內(nèi)圈圓環(huán)形的通道和外圈環(huán)狀波浪形的通道。本發(fā)明結構簡單，操作方便，在使用的過程中，將晶圓放入行星輪中并加入含適量磨粒的研磨液，通過操作面板設置所需工作溫度，啟動裝置，通過顯示面板即可實時監(jiān)測工作溫度。冷卻液沿特定的冷卻通道對下磨盤進行強制冷卻，有效地控制了晶圓的加工溫度，提高了晶圓研磨拋光的表面質量，降低了晶圓碎片概率。

聲明：

“晶圓雙面化學機械研磨拋光用冷卻裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)