本發(fā)明是化學機械研磨設備機臺監(jiān)控系統(tǒng),其結構包括主控模塊和分別與主控模塊信號連接的閾值設定模塊、數(shù)值顯示模塊、報警模塊、信號轉換模塊和監(jiān)控傳感器。本發(fā)明的優(yōu)點:基于PLC開發(fā),是多通道、多類型的信號采集、對比的報警系統(tǒng)。在機臺上增加偵測、報警機制,對生產中可能會產生的問題進行提前預防和報警,保證產品質量穩(wěn)定性。功能多樣、數(shù)據(jù)采集點多、系統(tǒng)集成度高,可以方便移植到其他類似機臺上。
聲明:
“化學機械研磨設備機臺監(jiān)控系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)