本實(shí)用新型涉及一種清洗系統(tǒng),用于真空管道清洗,包括檢測(cè)裝置、離化裝置、抽吸裝置和開(kāi)關(guān)裝置,所述檢測(cè)裝置設(shè)于真空管道上并用于檢測(cè)真空管道內(nèi)沉積物的含量,所述離化裝置連接真空管道并用于將能與沉積物反應(yīng)的清潔物質(zhì)注入真空管道,所述抽吸裝置連接并用于抽吸真空管道,所述開(kāi)關(guān)裝置設(shè)于真空管道上并用于在沉積物的含量超過(guò)預(yù)設(shè)上限值時(shí)切斷真空管道。如此一來(lái),清洗真空管道時(shí),可以免去拆卸真空管道的麻煩,而且無(wú)需送外清洗,節(jié)省了清洗時(shí)間和成本,特別地,在線清洗可以縮短生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。
聲明:
“清洗系統(tǒng)及其化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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