一種利用光聲光譜法檢測微量水蒸氣濃度的方法，屬于痕量氣體檢測技術(shù)領(lǐng)域。首先由紅外光源發(fā)射出可調(diào)光源給斬波器，同時水蒸氣以及參比氣體進入光聲池，然后將中紅外光譜照射到光聲池中的氣態(tài)微量水蒸氣上，在波長2.5-3μm處吸收光能并釋放出所吸收的能量，該能量使光能轉(zhuǎn)化為熱能，熱能使微量水蒸氣氣體溫度變化并引起壓力波動而產(chǎn)生聲波，聲波通過微音器檢測并得到光聲信號，光聲信號一方面由外圍模數(shù)信號轉(zhuǎn)換器的模數(shù)轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換成數(shù)字電信號；另一方面由數(shù)模信號轉(zhuǎn)換器的數(shù)模轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換成工業(yè)模擬信號供給用戶。優(yōu)點：能檢測到PPM級微量水蒸氣濃度；無需使用任何化學(xué)物質(zhì)；一經(jīng)標(biāo)定的調(diào)整后無需再次調(diào)定；可防止水蒸氣冷凝；檢測精度高、靈敏度好和穩(wěn)定性優(yōu)異。