一種研磨液、過(guò)拋和終點(diǎn)檢測(cè)方法及裝置、拋光設(shè)備，所述終點(diǎn)檢測(cè)方法，包括：利用包含顯色劑的研磨液對(duì)需要拋光的物質(zhì)進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光；收集從化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的拋光墊上流出的研磨液；利用比色法獲知從拋光墊上流出的研磨液中包含的需要拋光物質(zhì)的濃度，所述需要拋光物質(zhì)的濃度逐漸減小到預(yù)定范圍內(nèi)，或者研磨液中需要拋光物質(zhì)的濃度在預(yù)定范圍內(nèi)且拋光的時(shí)間大于預(yù)定時(shí)間，或者研磨液中需要拋光物質(zhì)的濃度第二次在預(yù)定范圍內(nèi)，輸出終點(diǎn)檢測(cè)信號(hào)。本技術(shù)方案可以有效防止晶圓的過(guò)拋問(wèn)題。