本發(fā)明公開了一種檢測生產(chǎn)環(huán)境對金屬連線腐蝕的方法，包括如下步驟：提供一晶圓，在所述晶圓的切割道上制備離子阱組合結(jié)構(gòu)，其中，所述離子阱組合結(jié)構(gòu)包括各種類器件結(jié)構(gòu)的離子阱結(jié)構(gòu)，每種器件的離子阱結(jié)構(gòu)中P阱和N阱均通過各自上方的接觸孔連接金屬連線；將所述制備好離子阱組合結(jié)構(gòu)的晶圓放置在正常的生產(chǎn)環(huán)境中；通過顯微鏡觀察所述晶圓切割道上離子阱組合結(jié)構(gòu)的金屬連線的電化學(xué)腐蝕情況。采用本發(fā)明的技術(shù)方案可以更快檢測出生產(chǎn)環(huán)境對金屬連線腐蝕的影響，以便在實(shí)際的生產(chǎn)中進(jìn)行相應(yīng)的改進(jìn)，從而提高產(chǎn)品的良率。