本發(fā)明公開了一種表面清潔度測試裝置和測試方法,屬于半導(dǎo)體及晶圓、OLED等高精密加工領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)域。它包括背景光源、同向光源、支架、同軸環(huán)形光源、棱鏡、棱鏡固定支架、液滴、被測試樣品和成像系統(tǒng),棱鏡通過頂絲固定螺絲固定到棱鏡固定支架上。通過頂視、側(cè)視多視角的同一圖像中成像,實(shí)現(xiàn)了UV分析、紅外分析、表面結(jié)構(gòu)分析、3D接觸角分析的有效組合測量,對于評估固體材料的物理化學(xué)性質(zhì),特別是對于客觀存在的表面粗糙度、化學(xué)多樣性和表面結(jié)構(gòu)導(dǎo)致的表面清潔度誤判的解決,提高表面清潔度測試的精度和可靠性,均具有極大提升,在半導(dǎo)體、晶圓、硅片、
新材料研究、仿生材料等行業(yè)具有非常高的作用,具有極高的推廣價(jià)值。
聲明:
“表面清潔度測試裝置和測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)