本發(fā)明提供一具整合微流道的聲波感測裝置及其方法,是以一壓電塊材作為基板,以機電或化學(xué)加工方式做其感測區(qū)域成為壓電薄板,再利用指叉狀電極結(jié)構(gòu)(INTER-DIGITAL TRANSDUCER,IDT)使其產(chǎn)生平板撓曲波。本發(fā)明更可進(jìn)一步以同一制程或接合方式將微流道整合在同一具壓電特性的基板上。本發(fā)明利用新的元件制程及設(shè)計,以制作出具有壓電特性佳、溫度補償特性穩(wěn)定及結(jié)構(gòu)堅固的元件,將使得平板撓曲波可應(yīng)用于液態(tài)感測器上。因此本發(fā)明能解決現(xiàn)有的聲波感測裝置的壓電特性及薄膜結(jié)構(gòu)不佳等問題。
聲明:
“具整合微流道的聲波感測裝置及其方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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