本發(fā)明涉及一種在化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中使用在線傳感器測(cè)量拋光片的拋光設(shè)備和方法。由測(cè)量數(shù)據(jù)可識(shí)別出拋光片是否已經(jīng)磨損壞了或是否不均勻磨損,并更換拋光片。按照即時(shí)的測(cè)量數(shù)據(jù)而不是按照統(tǒng)計(jì)預(yù)期方法來(lái)安排檢修,可將檢修的停機(jī)時(shí)間降到最低,并避免使用已經(jīng)磨損壞了或是不均勻磨損的拋光片。新設(shè)計(jì)的拋光設(shè)備可延長(zhǎng)拋光片使用壽命以及增加拋光效能。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案包括一個(gè)無(wú)觸點(diǎn)式傳感器,例如激光傳感器。
聲明:
“拋光片磨損的在線監(jiān)測(cè)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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