本發(fā)明公開了一種集成波導(dǎo)結(jié)構(gòu)光子數(shù)分辨超導(dǎo)單光子探測器,包括襯底和SiO
x波導(dǎo)結(jié)構(gòu),所述襯底與SiO
x波導(dǎo)之間設(shè)置有由若干個單元串聯(lián)的超導(dǎo)納米線單光子探測陣列,每個單元由電阻和納米線并聯(lián)而成。本發(fā)明不僅能夠高速探測到波導(dǎo)傳輸?shù)臉O微弱光子,并且能夠分辨檢測到的光子數(shù)目,在量子光學(xué)
芯片領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。本發(fā)明的制備方法為:1、在氟化鎂襯底上磁控濺射氮化鈮超導(dǎo)薄膜;2、光刻和剝離制備電極;3、用電子束光刻制備納米線圖形,并通過反應(yīng)離子刻蝕獲得氮化鈮納米線陣列;4、光刻電阻圖案,并通過制備并聯(lián)電阻;5、用電子束光刻制備波導(dǎo)圖形,并通過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積淀積SiOx波導(dǎo)。本發(fā)明的制備工藝步驟簡單,成品率較高。
聲明:
“集成波導(dǎo)結(jié)構(gòu)光子數(shù)分辨超導(dǎo)單光子探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)