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納米器件電學測試用鎢探針的制備方法及制備裝置

1044 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:25:56

本發(fā)明公開了一種納米器件電學測試用鎢探針的制備方法及制備裝置，該方法原理是通過電化學腐蝕鎢絲獲得鎢探針，其中鎢絲作為陽極并浸泡在電解液中，當通過鎢絲的電流降低至20mA時，開始提升鎢絲；當鎢絲被腐蝕斷開的瞬間，反向電流使鎢絲作為陰極，并提升鎢絲離開電解液，獲得鎢探針。通過本發(fā)明能制備大長徑比的鎢探針；同時通過檢測鎢絲斷開時的反向電流，即可預估鎢探針的尖端錐角，從而節(jié)省了傳統(tǒng)的后續(xù)需要電子掃描顯微鏡觀察確認的時間和成本。

聲明：

“納米器件電學測試用鎢探針的制備方法及制備裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)