本發(fā)明是有關(guān)于一種監(jiān)測刻蝕工藝的方法，其先以通氣體步驟將不會與具有特定組成的化學(xué)液反應(yīng)的氣體以氣體管路裝置通入化學(xué)液中，并得到對應(yīng)于化學(xué)液組成的第一平衡壓力，再將待刻蝕的晶圓半成品放入化學(xué)液中進行刻蝕步驟，接著進行氣體壓力偵測步驟記錄該氣體在該晶圓半成品完成刻蝕步驟后的第二平衡壓力，并配合計算步驟計算氣體平衡壓力差而得知化學(xué)液經(jīng)過刻蝕后的組成變化；本發(fā)明不需以另外的控片刻蝕、量測等工藝來監(jiān)測化學(xué)液的刻蝕能力，且可即時又簡易地由氣體平衡壓力的變化來監(jiān)測化學(xué)液的組成成分，進而縮短整體工藝時間、降低生產(chǎn)成本。