本實用新型為一種應(yīng)用于直流電弧等離子體化學氣相沉積法金剛石涂層過程的沉積溫度的光纖測量裝置。該裝置由金屬圓環(huán)、模擬工件、光學透鏡裝置、光纖、光纖測溫儀等部件所組成;均勻分布地安裝在電弧弧柱周圍的模擬工件將感應(yīng)出電弧造成的沉積溫度分布;在遠離電弧弧柱、處于低溫區(qū)域的光學透鏡裝置將模擬工件溫度的光學信號傳遞至光纖端部,然后這些光纖送至CVD沉積室外,再經(jīng)過光纖測溫儀的接收器接收后轉(zhuǎn)換為沉積溫度的分布信息。本實用新型的優(yōu)點在于:它可以避免熱電偶式的測溫方法容易受到直流電弧高頻引燃裝置干擾和損壞的問題,方便地在直流電弧等離子體化學氣相沉積裝置中收集溫度分布的信息。