本實(shí)用新型公開了一種束流引出測量工裝,包括:絕緣層上部,所述絕緣層上部的內(nèi)壁緊密貼合有絕緣層下部,同時所述絕緣層上部和絕緣層下部的材質(zhì)均為六方氮化硼化學(xué)材質(zhì);法拉第筒,所述法拉第筒和屏蔽層之間安裝設(shè)置有絕緣層上部和絕緣層下部,同時所述法拉第筒和屏蔽層的左端部的開口均為圓角處理設(shè)置;絕緣支架,所述絕緣支架安裝設(shè)置在屏蔽層的外表面,且絕緣支架所采用的材質(zhì)為六方氮化硼化學(xué)材質(zhì)。該束流引出測量工裝,引出極使用脈沖高壓,避免真空擊穿;以及無機(jī)非金屬絕緣材料六方氮化硼的使用能帶走累積的電荷,提高測量組件的耐壓能力;同時在法拉第筒外圍添加地電位的金屬屏蔽層可以減少因脈沖電壓產(chǎn)生的感應(yīng)電流。
聲明:
“束流引出測量工裝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)