本發(fā)明的氧化鋅紫外光電探測器原型器件的制備方法。它依次包括以下步驟:1)在氧化鋅薄膜表面旋涂一層光刻膠,一次光刻刻出電極圖形,除電極圖形外,其余部分仍覆蓋光刻膠涂層;2)用磁控濺射法在氧化鋅薄膜表面沉積金屬層,使金屬層的厚度小于光刻膠涂層的厚度;3)將覆蓋了金屬層的氧化鋅薄膜放到可溶解光刻膠的丙酮溶液中進(jìn)行超聲清洗,洗去光刻膠及沉積在光刻膠表面的金屬層;4)在保護(hù)氣氛下退火,去除電極表面有機(jī)沾污、提高歐姆接觸特性。使用該方法比傳統(tǒng)的化學(xué)濕法腐蝕法,可以有效防止由于ZnO表面被腐蝕而使器件性能變差。
聲明:
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